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真空泵的選型以及計算

發(fā)布時間:2021-10-07 人氣:1565

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第一部分:選用真空泵時需要注意事項

1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。 真空泵,真空預冷機,預冷機,科美斯,預冷保鮮

2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好。

 3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

 4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。

 5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。

 6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。

  7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。

 8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

9、真空泵的價格、運轉及維修費用。

 

第二部分:水環(huán)式真空泵的選擇

一、泵類型的確定

泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。

泵工作時,需要注意以下兩個方面:

1.盡可能要求在高效區(qū)內,也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內運行。

2.應避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運行。在此區(qū)域內運行,不僅效率極低,而且工作很不穩(wěn)定,易產生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言,在此區(qū)域之內運行,往往還會發(fā)生汽蝕現象,產生這種現象的明顯標志是泵內有噪音和振動。汽蝕會導致泵體、葉輪等零件的損壞,以致泵無法工作。

根據以上原則,當泵所需的真空度或氣體壓力不高時,可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,單級泵往往不能滿足,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機組作為抽真空裝置。

如果只作真空泵用,則選用單作用泵比較好。因為單作用泵的構造簡單,容易制造和維護,且在高真空情況下抗汽蝕性好。
如果僅作較大氣量的壓縮機使用,則選用雙作用的泵比較合適。因為雙作用泵的氣量大,體積小,重量輕,徑向力能得到自動平衡,軸不容易產生疲勞斷裂,泵的使用壽命較長。

二、根據系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵

初步選定了泵的類型之后,對于真空泵,還要根據系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號。

 



真空泵選擇相關計算公式

1、玻義爾定律

體積V,壓強P,P·V=常數

一定質量的氣體,當溫度不變時,氣體的壓強與氣體的體積成反比。

即P1/P2=V2/V1

2、蓋·呂薩克定律

當壓強P不變時,一定質量的氣體,其體積V與絕對溫度T成正比:

V1/V2=T1/T2=常數

當壓強不變時,一定質量的氣體,溫度每升高(或P降低)1℃,則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。

3、查理定律

當氣體的體積V保持不變,一定質量的氣體,壓強P與其絕對溫度T成正比,即:

P1/P2=T1/T2

在一定的體積下,一定質量的氣體,溫度每升高(或降低)1℃,它的壓強比原來增加(或減少)1/273。

4、平均自由程:

λ=(5×10-3)/P (cm)

5、抽速:

S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/P
Q=流量(托·升/秒) P=壓強(托) V=體積(升) t=時間(秒)

6、通導: C=Q/(P2-P1) (升/秒)

7、真空抽氣時間:

對于從大氣壓到1托抽氣時間計算式:
t=8V/S (經驗公式)
V為體積,S為抽氣速率,通常t在5~10分鐘內選擇。

8、維持泵選擇:

S維=S前/10

9、擴散泵抽速估算:

S=3D2 (D=直徑cm)

10、羅茨泵的前級抽速:

S=(0.1~0.2)S羅 (l/s)

11、漏率:

Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)
Q漏-系統(tǒng)漏率(mmHg·l/s)
V-系統(tǒng)容積(l)
P1-真空泵停止時系統(tǒng)中壓強(mmHg)
P2-真空室經過時間t后達到的壓強(mmHg)
t-壓強從P1升到P2經過的時間(s)

12、粗抽泵的抽速選擇:

S=Q1/P預 (l/s)
S=2.3V·lg(Pa/P預)/t
S-機械泵有效抽速
Q1-真空系統(tǒng)漏氣率(托·升/秒)
P預-需要達到的預真空度(托)
V-真空系統(tǒng)容積(升)
t-達到P預時所需要的時間
Pa-大氣壓值(托)

13、前級泵抽速選擇:

排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值,選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走,根據管路中,各截面流量恒等的原則有:

PnSg≥PgS 或
Sg≥Pgs/Pn
Sg-前級泵的有效抽速(l/s)
Pn-主泵臨界前級壓強(最大排氣壓強)(l/s)
Pg-真空室最高工作壓強(托)
S-主泵工作時在Pg時的有效抽速。(l/s)

14、擴散泵抽速計算公式:

S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒)
式中:S-被試泵的抽氣速率(l/s)
n-滴管內油柱上升格數(格)
t-油柱上升n格所需要的時間(秒)
P-在泵口附近測得的壓強(托)
K-滴管系數(托·升/秒)
K=V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt
其中V0-滴管和真空膠管的原始容積(升)
L-滴管刻度部分的長度(mm)
n-滴管刻度部分的格數(格)
Υ0-油的比重(克/厘米3)
Υm-汞的比重(克/厘米3)
Pa-當地大氣壓強(托)
△Vt-滴管的刻度上的一格的對應的容積(升/格)

15、旋片真空泵的幾何抽速計算公式:

S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)
式中:Z為旋片數,n為轉速(轉/分),L為泵腔長度,D為泵腔直徑,d為轉子直徑(cm),Kv為容積利用系數(一般取95%)。

16、O型橡膠槽深B=0.7D

D為橡膠直徑,槽寬C=1.6B

17、方形橡膠槽深B=0.8A

A為方形橡膠邊長,槽寬C=1.67B




其它幾個公式:

◆ 真空容器的排氣時間

對于低真空和中真空的排氣時間,當泄漏量較小時,真空設備從壓強P1降低到P2所需的排氣時間為:

   t=2.3(V/S)lg(P1/P2)

 式中 t:  排氣時間,s

V:   真空設備容積,L

S:   泵的有效抽氣速率,L/S

P1, P2:  開始時容器的壓強和抽至所需的壓強,mmHg。

1.3倍

真空系統(tǒng)抽氣速率Se的計算方法:

 ◆ 連續(xù)操作系統(tǒng)

1、  計算真空系統(tǒng)的總泄漏量Qs。

根據真空系統(tǒng)的容積進行的泄漏量估算:

表1

容積 /  m3

0.1

1

3

5

10

25

50

100

200

空氣平均泄漏量/

kg/h

0.1-0.5

0.5-1.0

1-2

2-4

3-6

4-8

5-10

8-20

10-30

 

根據接頭密封長度進行的泄漏量估算:

表2

接頭密封質量

非常好

正常

泄漏量kg /h*m

0.03

0.1

0.2

2、  計算總抽氣量Q

         Q=Q1+Q2+Q3

Q: 總抽氣量,kg/h

Q1: 真空系統(tǒng)工作過程中產生的氣體量,kg/h

Q2: 真空系統(tǒng)的放氣量,kg/h

Q3: 真空系統(tǒng)總泄漏量,kg/h

3、計算Se:

           Se=QR(273+Ts)/PsM

R: 通用氣體常數 R=8.31kJ /(kmol*K)

Ts:抽出氣體的溫度,oC

Ps:真空系統(tǒng)的工作壓力,kPa,G

M:抽出氣體的平均分子量

Se:真空系統(tǒng)的抽氣速率,m3 / h

◆  間歇操作系統(tǒng)

           Se=138V/t *lg(P1/P2) m3 / h

真空泵的選用

1 根據真空系統(tǒng)的真空度和泵進口管道的壓力降,確定泵吸入口處的真空度(絕壓)

2 確定真空系統(tǒng)的抽氣速率Se

3 將Se換算成泵廠規(guī)定條件下的抽氣速率Se’

一般可按照下式計算:

Se’= Se(273+[Ts])/(273+Ts)

[Ts]:泵標準進氣溫度

4 根據抽氣速率和真空度要求,按照下式選擇確定真空泵的類型

   要求真空泵的抽氣速率S滿足:

    S >(20%-30%)Se’

 

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